1.聚焦離子束系統(tǒng)

  據(jù)相關(guān)介紹表明聚焦離子束系統(tǒng)應(yīng)用主動(dòng)防震臺(tái)有助于大幅度提升蝕刻、沉積、離子注入的加工質(zhì)量。因?yàn)椴糠志劢闺x子束系統(tǒng)在加工時(shí)容易受到地表震動(dòng)或者火山噴發(fā)等異常環(huán)境的影響，這就容易使蝕刻、沉積、離子注入等加工出現(xiàn)偏差，而隔離震動(dòng)后的加工效果將會(huì)得到提升。

  2.掃描探針顯微鏡

  主動(dòng)防震臺(tái)還可容納并擴(kuò)展至掃描探針顯微鏡。有許多科研人員在進(jìn)行納米尺寸以及分子水平觀察時(shí)會(huì)在不經(jīng)意間受到某些震動(dòng)的影響，而主動(dòng)防震臺(tái)的六個(gè)自由度防護(hù)功能將會(huì)隔離振動(dòng)信號(hào)，并且通過(guò)相反信號(hào)緩解并降低它的影響力。

  3.電阻拓展測(cè)試系統(tǒng)

  據(jù)調(diào)查反饋近些年主動(dòng)防震臺(tái)在電阻拓展測(cè)試系統(tǒng)中的應(yīng)用率也越來(lái)越高。電阻拓展測(cè)試系統(tǒng)在進(jìn)行超聲波測(cè)距或者信號(hào)采集時(shí)，若是有震動(dòng)干擾，容易導(dǎo)致測(cè)試系統(tǒng)的參數(shù)出現(xiàn)微小浮動(dòng)，而這種微小浮動(dòng)也有可能導(dǎo)致信號(hào)采集數(shù)據(jù)失效或者電阻拓展試驗(yàn)失敗。

  主動(dòng)防震臺(tái)的強(qiáng)大防震能力已得到科研人員與市場(chǎng)的認(rèn)可與贊許。特別是那些性能可靠的主動(dòng)防震臺(tái)更是粉絲量爆漲，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，主動(dòng)防震臺(tái)較為經(jīng)典應(yīng)用類型除了包括聚焦離子束系統(tǒng)、掃描探針顯微鏡以及電阻拓展測(cè)試系統(tǒng)外，還包括掃描隧道顯微鏡以及晶圓探測(cè)器等。